碳化硅陶瓷泵的燒結方法主要有：無壓燒結，熱壓燒結，熱等靜壓燒結，反應燒結。

　　無壓燒結是一種常規的燒結方法，它是指在以高純、超細碳化硅粉為原料，加入少量的燒結助劑，如硼、碳等，在大氣壓力下的惰性氣體或真空氣氛中，高溫下燒結，這是***常用，也是***簡單的一種燒結方式。

　　熱壓燒結是將碳化硅干粉料和相關添加元素如B,Al,Fe等放入模型內單軸方向邊加壓邊加熱，使碳化硅陶瓷泵成型和燒結同步進行。

　　熱壓燒結的特點：熱壓燒結由于加熱加壓同時進行，粉料處于熱塑性狀態，有助于顆粒的接觸擴散、流動傳質過程的進行，因而成型壓力僅為冷壓的1/10;還能降低燒結溫度，縮短燒結時間，從而抵制晶粒長大，得到晶粒細小、致密度高和機械、電學性能良好的碳化硅陶瓷泵。無需添加燒結助劑或成型助劑，可生產超高純度的陶瓷產品。熱壓燒結的缺點是過程及設備復雜，生產控制要求嚴，模具材料要求高，能源消耗大，生產效率較低，生產成本高。

　　熱等靜壓燒結，也稱高溫等靜壓燒結，是使材料(粉末、素坯或燒結體)在加熱過程中經受各向均衡壓力，借助于高溫和高壓的共同作用促進材料致密化的工藝。該工藝是在1955年由美國Bfittelle Columbus實驗室首先研制成功的，其***初主要應用于粉末冶金領域，隨著設備所能達到的溫度和壓力的不斷提高，又成功地應用到碳化硅陶瓷泵的高溫燒結。

　　熱等靜壓燒結技術的特點：可在較低燒結溫度下制備出微觀結構均勻、晶粒較細且完全致密的材料;可制備出形狀復雜的產品，特別是在制備納米材料時對粉體的要求不高，甚至團聚嚴重的粉體也可用于納米陶瓷的制備。

　　反應燒結是將碳化硅細顆粒和助劑制成的素坯，在高溫下與N2或液態硅反應，生成β-SiC，或者N4Si3,反應過程中氣孔得到填充，從而得到高致密的陶瓷材料。但是反應燒結碳化硅陶瓷泵對HF酸和其他超強酸的抗腐蝕性較差。

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